技術(shù)路線既然確認(rèn),那么接下來(lái)就是如何將其實(shí)現(xiàn)了。
王中軍作為實(shí)驗(yàn)室的負(fù)責(zé)人,并不需要事無(wú)巨細(xì)的全面參與進(jìn)去,更多的還是掌握方向和協(xié)調(diào)與督促進(jìn)度。新中文網(wǎng)更新最快手機(jī)端:https://
想通過(guò)原子力顯微鏡來(lái)刻畫光柵,最大的攔路虎看來(lái)就是硅探針的問(wèn)題了。
既然要求是100納米分辨率的光柵,那么探針的針尖應(yīng)該至少在50納米。
所謂光柵,其實(shí)就是一排透明和不透明交替的寬度相等的玻璃片。它的分辨率,就是一組透明和不透明交替刻痕的總寬度。如果這一組的寬度是100納米,那么不透明刻痕的寬度就應(yīng)該是50納米。
想劃出一條50納米寬的刻痕,當(dāng)然就需要50納米細(xì)的針尖了。
“我們所有的要求都集中在這跟探針上面,我們的刻痕是50納米,但我們的分辨率卻不能只有50納米。”
王中軍頂著一頭有些散亂的頭發(fā),充血的眼睛看起來(lái)像是有些睡眠不足,但說(shuō)話的聲音卻是中氣十足。
他用一支筆,指著幕布上的投影,接著給實(shí)驗(yàn)室里的其他研究員布置任務(wù)::“探針材質(zhì)必須是硅,我們的檢材不會(huì)是絕對(duì)平滑,所以必須確保探針斷裂也不會(huì)對(duì)材料造成污染?!?br/>
“它的形狀應(yīng)該是一個(gè)梯形,針尖是50納米寬的平面,也就是500個(gè)硅原子的寬度?!?br/>
王中軍想了想,補(bǔ)充了一句:“之前我認(rèn)為用針尖直接敲擊材料,這個(gè)思路是不合適的。硅敲擊硅,我們無(wú)法保證探針上的硅完整性,也就是說(shuō)敲擊的寬度是不可預(yù)測(cè)的。所以直接敲擊材料不合適,我們還需要用探針去除光刻膠,最后通過(guò)蝕刻和離子注入來(lái)實(shí)現(xiàn)光柵?!?br/>
“那么我們現(xiàn)在需要解決的就是三個(gè)問(wèn)題,敲擊探針、定位探針,以及滿足各向異性的蝕刻?!?br/>
“敲擊探針……老鐘,這個(gè)就由你來(lái)負(fù)責(zé)。技術(shù)上基于硅的特性,可以先嘗試單晶硅生長(zhǎng)法?!?br/>
“定位探針我來(lái)做,這個(gè)暫時(shí)還沒有什么思路?!?br/>
“蝕刻和離子注入,我考慮采用干法刻蝕技術(shù),相關(guān)的刻蝕機(jī)和pvd設(shè)備應(yīng)用與改造……這個(gè)我們實(shí)驗(yàn)室無(wú)法單獨(dú)完成,秦釋你來(lái)與相關(guān)其他實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行對(duì)接?!?br/>
“咱們實(shí)驗(yàn)室分三組,一組跟老鐘,一組跟我,秦釋你暫時(shí)先帶一個(gè)研究生去做協(xié)調(diào)工作?!?br/>
……
王中軍臨危不亂,實(shí)驗(yàn)室也就有了主心骨。雖然要跨越式發(fā)展技術(shù)必然會(huì)面臨巨大的困難,但一想到這個(gè)科研項(xiàng)目背后的意義,所有人的內(nèi)心中都充滿了必須傾力而為的使命感。
鐘大華是個(gè)老研究員了,從光機(jī)所借調(diào)到新科之后,雖然沒有什么特別突出的貢獻(xiàn),但他經(jīng)手的每一個(gè)實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目都從來(lái)沒有出錯(cuò)過(guò)。
這五六年里,新科不僅為他漲了工資,而且還幫他把在長(zhǎng)春的家人接過(guò)來(lái)安排了工作又解決了孩子上學(xué)的問(wèn)題,最近又剛剛給他分配了一套一百二十平米的房子。
這樣的待遇比起社會(huì)上那些做生意、做官的,可以說(shuō)并沒有差上多少了。
“嗯,具體的工作不能多說(shuō),不過(guò)最近兩個(gè)月我可能會(huì)比較忙?!?br/>
鐘大華拉開資料室機(jī)房的房門,脖子上夾著手機(jī)有些歉然的說(shuō)道:“你和孩子說(shuō),他的生日等我回去了再補(bǔ)上吧,生日禮物隨他挑。你生活上如果有什么麻煩,可以去找黃姐,組織上總幫得上忙的。”
“多的我就不說(shuō)了,放心,我會(huì)注意身體的,保證每天都會(huì)電話報(bào)平安……你也是,一定別太累了,別總跟兒子生氣,我小時(shí)候也跟他一樣,長(zhǎng)大了說(shuō)不定就開竅知道學(xué)習(xí)了……”
“行了,我去忙,先不說(shuō)了?!?br/>
“嘖嘖,老鐘你這妥妥的三好男人啊,‘保證每天都會(huì)電話報(bào)平安’,哈哈,嫂子管的這么嚴(yán)的嘛?”
跟著鐘大華一起走進(jìn)來(lái)吳牧是個(gè)年輕人,看他的樣子就知道是無(wú)家一身輕。
“你個(gè)光棍漢,懂個(gè)啥?怎么是管的嚴(yán),明明是她沒我不行!“
“你可拉倒吧,我又不是沒看過(guò)你跪搓衣板的樣子?!?br/>
說(shuō)著話,吳牧還拍了拍自己胸前抱著的包袱,嘻嘻笑道:“你看咱,鋪蓋卷在哪家就在哪,別提多自在了!”
“今天我就要在資料室打地鋪,先加他一個(gè)星期的班!”
說(shuō)笑歸說(shuō)笑,進(jìn)入工作狀態(tài)之后,鐘大華和吳牧都是非常認(rèn)真的性格。然而在工作了一段時(shí)間之后,卻突然發(fā)現(xiàn)——他們的計(jì)算機(jī),竟然連不上美國(guó)的數(shù)據(jù)庫(kù)了。
“怎么回事,我們連接不上美國(guó)的公開數(shù)據(jù)庫(kù)了?”